O型圈，也称为O型密封圈，是一种具有圆形横截面的橡胶密封件。在半导体制造工艺中，含氟和氢的气体经常暴露在高温下。当这些高能气体与改性材料表面接触时，它们会引起物理和化学变化，导致密封材料的严重腐蚀。因此，半导体工艺中使用的O型密封圈必须具有热稳定性、尺寸稳定性、耐化学性、低除气、低IR（红外吸收）、低渗透性和高温条件下的高纯度等性能。
O型密封圈广泛应用于各类半导体设备，包括：
·单晶炉
·氧化炉
·清洁系统
·蚀刻设备
·CVD(化学气相沉积)
·PVD(物理气相沉积)
·CMP(化学机械抛光)
每个应用程序都有不同的性能要求：
·光刻设备需要耐溶剂的密封件
·CVD设备要求密封件在真空条件下具有优异的热稳定性
·CMP系统需要耐磨且能承受高pH值化学腐蚀的密封件
·湿法刻蚀设备需要高纯度材料制成的O型圈，以防止元素污染（如颗粒产生）
·干法刻蚀系统要求材料具有较强的抗plaa能力
除了上述之外，O型环还可能需要抵抗掺杂剂和反应性流体，保持低压缩永久变形、尺寸稳定性以及在宽操作温度范围内起作用。
半导体工业中的O型密封圈特性
目前，半导体领域使用的O型圈主要由FFKM（全氟弹性体）制成，也称为全氟橡胶，是全氟甲基乙烯基醚、四氟乙烯和全氟烷基乙烯基醚的三元共聚物。
EFKM（全氟醚橡胶）特性：
•优异的弹性
•通过调整基础聚合物、填料、固化剂，可以生产出性能各异的橡胶，如不同的硬度、拉伸强度、断裂伸长率、弹性
·良好的物理机械性能，与FKM（氟橡胶）相当，具有更好的抗高温压缩永久变形能力
·优异的耐高温和低温性能
·优异的耐溶剂性和耐化学品性
·对气体和液体的低渗透性、良好的电绝缘性和阻燃性
·极宽的工作温度范围
