成功的密封案例

如今的橡胶弹性体材料具有独特的力学行为特征,是高度非线性和应变率相关的。为了准确的预测这些材料的密封性能,Xufluo对我们所有已开发的密封材料,建立了一个专用模型。

对我们今天的半导体行业来说,从工具设计到多物理场耦合模拟,有限元分析已经成为一个重要的设计分析工具。

·从设计、原型、生产、测试和安装得出的密封解决方案。

·Xufluo密封资深的工程设计团队为客户提供综合的产品设计,性能优化和分析服务。

·一个失效的密封通常是由多个原因造成的,如热退化,机械退化,等离子化学攻击,及固有设计缺陷。我们的工程师团队会综合调查这些可能性原因,然后提供材料推荐,设计升级以及指导培训服务。

密封问题

某OEM厂商面临着影响生产水平的密封问题。一整套密封安装在一个前沿设备上与当时的全氟产品进行直接的并列比对。对比的全氟产品在增加颗粒度的同时产生了不稳定表现。此外,密封圈不能够很好地配合沟槽,经常从沟槽中掉落。作为结果,对比全氟产品需要被频繁更换从而减少产量损失,造成计划维修周期和晶圆产量发生持续的不匹配。

资源工程技术:产品分析

Xufluo密封对当时失效的全氟产品进行了全面的分析,从而针对每个问题部位的密封产品判断其失效形式。

我们的工程师会对所有提供给客户的设计进行FEA应力和变形分析以确保密封功能性。

通过优化能够导致弹性体产生应力诱导失效及化学侵蚀的应力分布,来强化设计和材料构成从而延长密封件寿命。

解决方案&成功结果

Xufluo解决方案提供了更低的腔室颗粒度

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