解决案例
化学耐受性
全氟橡胶 (FFKM) 部件可抵御超过1600种不同的化学品、溶剂和等离子体的腐蚀。在具有腐蚀性的工艺环境中，我们的产品展现出良好的性能。无论是面对酸性、碱性、胺类物质、等离子体还是超纯去离子水，通过选择适合特定应用的部件，制造商能够有效提升密封效果。我们提供多种化合物配方的部件，这些配方旨在优化性能，并确保在广泛的化学品和温度条件下达到很好的表现。
最小膨胀
化学引起的膨胀会导致O型圈和由其他弹性体制成的密封部件从密封槽中挤出，从而导致密封失效。FFKM（氟化弹性体）等材料具有优异的化学稳定性和耐高温性，并且通常具有较低的膨胀系数。这使得FFKM在高温高压环境下，能够保持其尺寸和弹性，从而在高要求的密封应用中提供可靠的密封性能。事实证明，在需要最大程度抵抗恶劣化学环境和高温的密封情况下，它们是一种经济高效的解决方案。
热稳定性能
全氟弹性体部件之所以表现出良好的热稳定性和耐化学性，归功于其全氟链中碳氟键的强大作用。即使在高达325°C的长期高温环境中，我们的密封件相较于其他弹性体，仍能保持更佳的弹性和复原能力。不会发生塑性变形、软化或硬化，这些往往是导致密封件性能下降和最终失效的关键因素。
低压缩变形
我们的密封件压缩变形率低，在去除外部压力后，能够迅速恢复到原来的厚度和形状。我们的密封件在工作状态下即使长时间承受压力，也不会永久压缩或变形，从而保持有效的密封性能。
密封和除气性能
在晶圆加工过程中，密封和除气性能是非常关键的，因为任何气体的存在或释放都会对晶圆的质量、精度以及生产效率产生严重影响。晶圆加工通常是在高度洁净、低污染的环境下进行的，密封材料和除气性能的好坏直接关系到工艺的稳定性和良率。 晶圆加工过程的设备中通常使用各种化学气体和气体混合物，这些气体的挥发物（如残留气体、溶剂等）可能对加工环境产生负面影响，甚至影响到产品质量。因此，材料的除气性能在此过程中显得尤为重要。
快速气体减压性能
FFKM（氟化弹性体）密封件的快速气体减压性能是其在高速气体减压应用中表现出来的关键特性。FFKM具有极好的弹性和恢复性，这使其在快速气体减压过程中能够应对压力突变带来的挑战。当气体减压时，密封件需要快速适应压力变化并恢复原状，而FFKM的弹性特性确保其在压力波动中依然能够维持良好的密封性能。 适应快速气体减压：FFKM的弹性允许密封件在短时间内适应压力的变化，尤其在压力从高压转至低压时，FFKM密封件能迅速恢复原状，避免气体泄漏。
适应快速气体减压：FFKM的弹性允许密封件在短时间内适应压力的变化，尤其在压力从高压转至低压时，FFKM密封件能迅速恢复原状，避免气体泄漏。
适应快速压力变化：高性能弹性体具有优异的弹性，可以快速恢复形变，适应气体减压过程中的瞬时压力变化。
良好的密封性能：在气体压力迅速下降时，弹性体密封件能够确保气体不泄漏，从而保持系统的稳定性。
减少晶圆工艺污染
全氟橡胶 (FFKM) 因其对化学物质（包括反应性等离子体和高达330°C的极端高温）的超强耐受性而被用作晶圆加工设备上的密封件。FFKM密封件通过其出色的耐化学性、低出气率、低颗粒生成、高温稳定性和避免化学反应的特性，能够有效减少晶圆在生产过程中的污染，确保半导体制造过程中的洁净环境，保障产品的质量。
减重/粒子生成
在半导体制造过程中，等离子体作为一种强大的蚀刻、化学气相沉积（CVD）和剥离工具，对材料的消耗性极高。FFKM密封件因其出色的耐腐蚀性而在这些工艺中被广泛使用。然而，长时间暴露在等离子体中会导致密封表面退化，进而增加颗粒污染的风险，影响晶圆产量和工艺可靠性。因此，理想的密封件需要在抵抗表面退化的同时，保持其密封功能。FFKM密封件的设计目标正是为了抵抗化学侵蚀，延长密封寿命，减少重量损失和颗粒生成量，从而提高晶圆产量、工艺可靠性，并降低设备维护频率